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電子特種氣體管道系統(tǒng)的配置規(guī)范及要求

2020-03-06 18:06:13        0

  

  電子特種氣體管道系統(tǒng)非常講究安全,對(duì)設(shè)備配置有很多規(guī)范,在操作設(shè)計(jì)上也有很多的要求,這里主要介紹下電子特種氣體管道系統(tǒng)的配置規(guī)范及要求。


  特種氣體輸送系統(tǒng)概述


  在現(xiàn)代半導(dǎo)體、科研實(shí)驗(yàn)室、綜合廠房的集中供氣系統(tǒng)中,氣瓶柜、氣瓶架已經(jīng)成為鋼瓶氣體的標(biāo)配,那么這些GR、GC的配置有什么要求呢?相信很多業(yè)主和用戶并沒有一個(gè)清晰的概念,只有了解了規(guī)范化的要求,才能在廠房、實(shí)驗(yàn)室的建設(shè)中合理規(guī)劃布局、安全使用。



  特種氣體輸送系統(tǒng)設(shè)備配置規(guī)范


  1、GC、GR可采用單工藝氣瓶外置吹掃氮?dú)?源)瓶(單瓶式)、雙工藝氣瓶外置吹掃氮?dú)?、雙工藝氣瓶?jī)?nèi)置吹掃氮?dú)獾榷喾N結(jié)構(gòu)配置。


  2、GC、GR 應(yīng)設(shè)置作業(yè)用氣體面板。


  3、系統(tǒng)的供應(yīng)能力應(yīng)經(jīng)過熱力學(xué)和流體力學(xué)計(jì)算核實(shí)。


  4、氣瓶柜閉門時(shí)應(yīng)保持不低于100Pa負(fù)壓,柜內(nèi)的排風(fēng)換氣次數(shù)不得低于300次/H 。

  5、GC板材厚度不得低于2.5mm,并有放腐蝕涂層。


  6、GC門應(yīng)具備自動(dòng)關(guān)閉功能,并配備防爆玻璃觀察窗,地腳螺栓設(shè)計(jì)應(yīng)滿足當(dāng)?shù)氐卣鹪O(shè)防烈度的要求。


  特氣系統(tǒng)安全要求:


  1、不相容氣體瓶嚴(yán)禁放置于同一氣瓶柜或氣瓶架中。


  2、自然性、可燃性、毒性、腐蝕性氣瓶柜應(yīng)在排風(fēng)出口設(shè)置氣體泄露偵測(cè)器。


  3、GC、GR應(yīng)設(shè)置清晰明確的安全標(biāo)識(shí)牌


  以上就是普萊斯特為大家講解的電子特種氣體管道系統(tǒng)的配置規(guī)范及要求了,希望可以幫助大家!


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